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雙頻激光干涉儀

LH2000雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品描述:

專(zhuān)為計量檢測用戶(hù)打造的高精度雙頻激光干涉儀
性能卓越的高精度線(xiàn)性位移、長(cháng)度檢測標定工具

服務(wù)熱線(xiàn):4008168900
立即咨詢(xún)

    滿(mǎn)足計量檢測用戶(hù)更穩定、更高精度、更便利的使用要求;

    以光刻機用激光干涉測量系統為基礎,

    在保留高穩定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時(shí),

    將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,

    一體化設計為用戶(hù)提供更加方便、易用、友好的使用體驗;

    典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。

 系統組成:
     LH2000激光測頭及附件
     環(huán)境補償單元
     LaserLC測量軟件
     線(xiàn)性位移測量鏡組(選配:角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度測量鏡組等)
     光學(xué)調整附件
     三腳架及其他測量附件
 

(欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點(diǎn)和差異,請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀




激光頭尺寸330mm×110mm×95mm
激光頭重量3.3kg
激光光束直徑6mm
激光功率 >0.5mw
真空波長(cháng)632.99nm
頻差可定制 典型值7±0.5 MHz
工作溫度范圍+10℃~+30℃
儲存溫度范圍+15℃~+45℃
激光穩頻精度±0.02ppm
線(xiàn)性測量范圍40m
線(xiàn)性測量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補償器)
分辨率1nm
測量速度2m/s
工作電源220V/50Hz



懇請注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。


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LH2000用于三坐標機校準

LH2000用于數控機床校準

 

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