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雙頻激光干涉儀的優(yōu)勢有哪些?
發(fā)布時(shí)間:2018-12-07瀏覽次數:2091

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來(lái)的一種基于外差技術(shù)的高精度測量?jì)x器,它克服了單頻激光干涉儀易受環(huán)境影響的弱點(diǎn),即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。由于這一特點(diǎn),雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車(chē)間內為大型機床的刻度進(jìn)行標定,既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量,也可以對手表零件等微小運動(dòng)進(jìn)行精密測量,既可以對幾何量如長(cháng)度、角度.直線(xiàn)度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量,也可以用于特殊場(chǎng)合,諸如半導體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

    單頻干涉儀最根本弱點(diǎn)是搞干擾能力弱,空氣湍流、機床的油霧、切屑的干擾都會(huì )引起干涉信號變化從而影響測量精度,在測試環(huán)境惡劣,測量距離較長(cháng)時(shí),這一缺點(diǎn)十分突出。其原因在于它是一個(gè)直流測試系統必然具有直流光平和電平零漂弊端,這種無(wú)規律的變化很難通過(guò)系統的自動(dòng)調整來(lái)補償,限制了單頻激光干涉儀在高精密測量領(lǐng)域的應用。

    而雙頻激光干涉儀是一個(gè)交流測試系統,當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí),其頻率不會(huì )受光強變化影響發(fā)生變化,也不會(huì )因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,雙頻干涉儀的干擾能力強,精度高,測量結果可靠,在精度要求極高的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。如2017年人類(lèi)首次直接探測到來(lái)自雙中子合并的引力波就是使用的雙頻激光干涉儀。

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